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MEMS气体流量传感器 0-50ml/min
MEMS气体流量传感器 0-50ml/min
我司研发的气体流量传感器,使用热力学原理对风道内的气体进行流量检测,具有良好的精度与重复性,内部设有温度传感器对测量的流体进行温度补偿,采用模拟电压输出的形式,方便最后的流量计算。风道内采用特殊设计,降低通过传感器的流体的损耗,使其性能适用于各种复杂的应用环境。
产品型号 JXFS-001 满量程 50、100、200、500、1000SCCM(可定制) 输出方式 串口输出,线性0-5V输出,PWM输出(可定制) 输出阻抗 200Ω 工作电压 DC 12V 工作电流 ≤10mA 精度 ±(2+0.5FS)% 输出漂移 0.12%/℃ △P max ≤600Pa 工作压力 ≤200kPa 工作温度① 0℃~50℃ 储存温度 -20℃~80℃ 测量介质 干燥洁净的空气
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