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威海beat365中文官方网站电子科技有限公司

第1章 产品简介

1.1 产品概述

MEMS气体传感器利用MEMS工艺在SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

1.2 产品特点

l 尺寸小，功耗低

l 响应速度快

l 灵敏度高

l 适应性好

l 使用寿命长久

1.3 主要参数

1.4 产品外观图

1.5 产品尺寸

1.6 基本电路

俯视图：

VH: 加热电压  2.5V  DC

VCC:回路电压 ＜=24V（典型3.3V） DC

1.7 适应环境

适用于室内空气质量监测、手机、电脑等消费类电子产品应用检测空气质量；也适用于呼出气体检测仪、室内烟雾报警等。

1.8 注意事项

(1) 必须避免的情况

①暴露于可挥发性硅化合物蒸汽中

要避免暴露于硅粘接剂、发胶、硅橡胶、腻子或其它存在可挥发性硅化合物的场所。如果表面吸附了硅化合物蒸汽，传感器的敏感材料会被硅化合物分解形成的二氧化硅包裹，抑制传感器的敏感性，并且不可恢复。

②高腐蚀性的环境

暴露在高浓度的腐蚀性气体（如NH3，SOX，Cl2，HCl等）中，不仅会引起加热材料及传感器引线的腐蚀或破坏，并会引起敏感材料性能发生不可逆的劣变。

③碱、碱金属盐、卤素的污染

该传感器被碱金属尤其是盐水喷雾污染后，或暴露在卤素如氟利昂中，也会引起性能劣变。

④接触到水

溅上水或浸到水中会造成该传感器敏感特性下降。

⑤结冰

水在传感器敏感材料表面结冰会导致敏感层碎裂而丧失敏感特性。

⑥施加电压

由过载电压引起的过载加热功率会对传感器造成不可逆的损害，同时静电也会损坏设备，所以在接触设备时要采取防静电措施。

(2) 尽可能避免的情况

①凝结水

在室内使用条件下，轻微凝结水对传感器性能会产生轻微影响。但是，如果水凝结在敏感层表面并保持一段时间，传感器特性则会下降。

②处于高浓度气体中

无论是否通电，在高浓度气体中长期放置，均会影响其特性。如用打火机气直接喷向该传感器，会对其造成极大损害。

③长期暴露在极端环境中无论是否通电，长时间暴露在极端条件下，如高湿、高温或高污染等极端条件，传感器性能将受到严重影响。

④振动

频繁、过度振动会导致该传感器内部产生共振而断裂。在运输途中及组装线上使用气动改锥/超声波焊接机会产生此类振动。

⑤冲击

如果传感器受到强烈冲击或碰撞会导致其内部断裂。

⑥焊接

a. 回流焊接建议条件中性气氛；焊接温度250±10℃； 避免助焊剂蒸汽。

b. 手工焊接建议条件含氯最少的松香助焊剂；焊接温度≤350℃；持续时间≤3s。

n  注：违反以上使用条件将使该传感器特性下降。