气体质量流量控制器 0-300mL/min
质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。
流量规格:( 0~50) SCCM (可定制) ( 0~1,4,15,50,200) SLM(可定制)
流量控制范围:2~100% of F.S
准确度:±1.5%F.S
线性:±1%F.S
重复精度:±0.2%F.S
响应时间:≤10sec
工作压差范围:(0.1~0.5)MPa
工作环境温度:5℃~45℃
工作电压:DC 12V-24V
注: 质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定